文献

J-GLOBAL ID：201302292292176185   整理番号：13A1582812

接触型マイクロ熱検知センサによるナノ平滑面微欠陥検出に関する研究-試作素子による熱検知感度の実験的検討-

著者 (4件)： 清水裕樹 (東北大) ,  大場裕太 (東北大) ,  LU Wenjian (東北大) ,  GAO Wei (東北大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2013  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.G43  発行年： 2013年08月28日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 次世代のシリコンウエハや磁気ディスク,光学素子などのナノ平滑面に要求される微小欠陥検出の実現を目的として,軽微な接触で発生した極小摩擦熱をもとに微小欠陥を検出する,接触型マイクロ熱検知センサのコンセプトを検討している。本報では,極小摩擦熱の検知に用いる熱検知素子プロトタイプを試作するとともに,その熱検知特性を実験的に評価し,提案手法の実現可能性について検討した結果について述べる。(著者抄録)

シソーラス用語： 滑面 ,  単位 ,  故障検出 ,  欠陥 ,  *センサ ,  摩擦熱 ,  プロトタイプ ,  感度 ,  ウエハ【IC】
準シソーラス用語： *平滑面 ,  ナノメータ ,  *欠陥検出 ,  微欠陥 ,  *熱センサ ,  マイクロセンサ ,  接触検出器 ,  *検出感度 ,  シリコンウエハ

分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (7件)： 検知センサ ,  平滑面 ,  欠陥検出 ,  研究 ,  試作 ,  検知感度 ,  実験