抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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エレクトロニクス製品の小型化,軽量化,システム化に対しては,3次元半導体,すなわち貫通電極(TSV),3D-IC,シリコンインタポーザ等の技術の重みがますます高まっている。本稿では,(株)ザイキューブの試作サービスの取り組みについて,開発課題と取り組み,製造関係技術等を最新の技術動向とデータとともに示し,3次元半導体の多彩で急速なこの1年の動きをまとめた。具体的には,(1)Samsung社のV-NAND,(2)Xilinx社とTSMC社のFPGA 3D IC量産化,(3)Micron社のHybrid Memory Cube関係の動きについて述べた。