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J-GLOBAL ID：201302292406845694   整理番号：13A1654527

光トラップ支援ナノパターン形成に対する非球状粒子

Non-spherical particles for optical trap assisted nanopatterning

著者 (5件)： TSAI Y-C (Princeton Univ., NJ, USA) ,  FARDEL R (Princeton Univ., NJ, USA) ,  PANCZYK M M (Univ. Delaware, DE, USA) ,  FURST E M (Univ. Delaware, DE, USA) ,  ARNOLD C B (Princeton Univ., NJ, USA)
資料名： Nanotechnology  (Nanotechnology)
巻： 24  号： 37  ページ： 375303,1-6  発行年： 2013年09月20日 
JST資料番号： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 100nm以下のスケールでのパターン形成の方法として,表面近傍に置いた微粒子による近接場エバネセント波を利用したリソグラフィーの一環として,本研究では,光トラップ支援ナノパターン形成に対する非球状ビーズの利用を提示した。また,ビーズの形状が,光の焦点にどのように影響するかを実験とシミュレーションとの組合わせで調べた。その結果に基づいて,1)非球状誘電体粒子を用いたナノパターン形成を実現したこと,2)ナノスケールの特徴のモデリングを,有限差分時間領域法シミュレーションによって行い,実験との良い一致を得たこと,を記した。

シソーラス用語： *ナノ粒子 ,  *パターン形成 ,  *光トラッピング ,  モデリング ,  計算機シミュレーション ,  形状効果 ,  *誘電体 ,  エバネセント波 ,  光 ,  粒状材 ,  有限差分時間領域法
準シソーラス用語： 近接場光

分類 (1件)： 量子光学一般  (BD04010X)

タイトルに関連する用語 (4件)： 光トラップ ,  支援 ,  ナノパターン形成 ,  球状粒子