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J-GLOBAL ID：201302292584191541   整理番号：13A0032616

マイクロ流体適用のためのエピけい光顕微鏡を利用したマスクレス・フォトリソグラフィ

MASKLESS PHOTOLITHOGRAPHY USING AN EPIFLUORESCENT MICROSCOPE FOR MICROFLUIDIC APPLICATIONS
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著者 (2件)：
HIGGINS MacCallister

HIGGINS MacCallister について

(Univ. Nevada, NV)

Univ. Nevada, NV について

, 
GEIGER Emil J.

GEIGER Emil J. について

(Univ. Nevada, NV)

Univ. Nevada, NV について


資料名：
Proceedings of the ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition  (Proceedings of the ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition)

Proceedings of the ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition について


巻： 2011  号： Vol.11  ページ： 247-250  発行年： 2012年 
JST資料番号： W2290A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
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タイトルに関連する用語
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流体

流体 について

, 
けい光顕微鏡

けい光顕微鏡 について

, 
マスクレス

マスクレス について

, 
フォトリソグラフィ

フォトリソグラフィ について


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