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J-GLOBAL ID:201302292605545047   整理番号:13A0344968

大面積電子ビーム照射による複雑な金属金型構造の表面仕上げ

Surface finishing of intricate metal mould structures by large-area electron beam irradiation
著者 (5件):
資料名:
巻: 37  号:ページ: 443-450  発行年: 2013年04月 
JST資料番号: A0734B  ISSN: 0141-6359  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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ポリマー成形型の進歩に関して,生成される表面部分に対して外観だけでなく機能性に関する表面テクスチュアを加えることに焦点が置かれている。更に,安価で高品質な微小要素に対する増加する需要は,複製工程用金型が最新の製造技術を利用する必要があることを意味している。この場合として,マイクロ・インベストメント鋳造の様な工程によって生成された工具は,過剰な表面粗さ,奇形端部及び一般的変形に悩まされる。これは,高脱型力と設計内容に対する金型の忠実度の低下をもたらす。本研究では,大面積電子ビーム(EB)照射がこれらの指標を改善するのに有効であることを示した。まず最初に,複雑な高アスペクト比微細構造をこの工程の対象とし,平滑化の機構と主要な現象をデモンストレーションした。網目形状を得る為の統合プロセス連鎖にEB照射を含む可能性についても議論した。突出特徴の表面に対して,表面粗さが,136から22nmRaに減少され,底基板の同時に150から27nmRaに改善されたことを示した。窪んだ特徴の底面では,表面仕上げが改善されたことが観察された。柱状特徴の先端のドーミングについてもデモンストレーションし,外観を改善した。これ等の表面特徴は脆弱であるので,他の機械的方法では仕上げ加工出来ない。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (2件):
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特殊加工  ,  電子ビーム・イオンビームの応用 
タイトルに関連する用語 (4件):
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