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J-GLOBAL ID:201302292627015840   整理番号:13A0084019

二つの位相差を伴う微小回折格子を用いた光学エンコーダ

AN OPTICAL ENCODER USING MICROMACHINED TWO GRATINGS WITH PHASE DIFFERENCE
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資料名:
巻: 2010  号: Vol.10  ページ: 479-483  発行年: 2012年 
JST資料番号: W2290A  資料種別: 会議録 (C)
発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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