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J-GLOBAL ID：201302292944267765   整理番号：13A0758119

ケイ素チップ上に化学エッチングした超高Q値微小共振器

Chemically-Etched Ultra-High-Q Micro-Cavities on a Silicon Chip

著者 (4件)： CHEN Tong (California Inst. Technol., California) ,  LEE Hansuek (California Inst. Technol., California) ,  LI Jiang (California Inst. Technol., California) ,  VAHALA Kerry (California Inst. Technol., California)
資料名： Annual Meeting of the IEEE Photonics Society  (Annual Meeting of the IEEE Photonics Society)
巻： 2012  ページ： 262-263  発行年： 2012年 
JST資料番号： T0931A  ISSN： 1092-8081  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 光微小共振器は様々な分野で応用されており,高Qチップに基づく素子の実現に向けた研究が進められている。8.75×10⁸の超高Q値を持つ光共振器を実証した。これらのケイ素チップに基づく素子はリソグラフィーと化学エッチングのみで作製した。素子の直径がQ値に及ぼす影響及び,結合したポンプパワーに対するBrillouinレーザの出力パワーの関係を調べた。この微小共振器は集積でき,応用可能性を広げる。

シソーラス用語： *エッチング ,  ケイ素 ,  *Q値 ,  *光共振器 ,  リング共振器 ,  フォトリソグラフィー ,  半導体材料
準シソーラス用語： *化学エッチング ,  *超高Q値

分類 (1件)： 共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： ケイ素チップ ,  化学エッチング ,  Q値 ,  微小共振器