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J-GLOBAL ID：201302293049436388   整理番号：13A0098471

逐次スパッタリング堆積とアニーリングプロセスによるSiO₂上の二金属Pd/Auナノ粒子の生成と自己組織化

Generation and Self-Organization of Bimetallic Pd/Au Nanoparticles on SiO₂ by Sequential Sputtering Depositions and Annealing Processes

著者 (3件)： RUFFINO F. (Universita di Catania, Catania, ITA) ,  PECORA E. F. (Universita di Catania, Catania, ITA) ,  GRIMALDI M. G. (Universita di Catania, Catania, ITA)
資料名： Journal of Nanoscience and Nanotechnology  (Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 12  号： 11  ページ： 8537-8545  発行年： 2012年11月 
JST資料番号： W1351A  ISSN： 1533-4880  CODEN： JNNOAR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 単位面積当たりの原子数を変えてSiO₂上にPdとAuを順番にスパッタリングで堆積し,AFMとSEMで解析した。膜は互いに近接した極めて小さい半球状のナノ粒子(NP)からなり,分布を対数正規関数に当てはめて求めたNPの平均半径と表面密度をAuの堆積量の関数として調べた。これからまずPd原子が基板の欠陥に捕獲されて安定な核を形成し,Au原子は捕獲されたPd堆積中に形成されたクラスタに捕獲されるとしてNPの生成機構を考察した。次いでN₂中,973~1173Kで熱処理し,自己組織化による平均半径の熱処理時間依存性を測定し,表面拡散律速Ostwald熟成理論で解析した。NP成長過程の活性化エネルギーを求めた。

シソーラス用語： スパッタ蒸着 ,  焼なまし ,  二酸化ケイ素 ,  *ナノ粒子 ,  触媒活性 ,  *自己組織化 ,  原子間力顕微鏡 ,  走査電子顕微鏡 ,  対数正規分布 ,  *パラジウム ,  粒度分布 ,  *金 ,  クラスタ ,  Ostwald成長 ,  活性化エネルギー ,  機構 ,  表面拡散 ,  核形成
準シソーラス用語： 金属ナノ粒子 ,  Ostwald熟成 ,  生成機構

分類 (1件)： 金属の結晶成長  (BK13030M)

タイトルに関連する用語 (7件)： スパッタリング堆積 ,  アニーリング ,  プロセス ,  SiO2 ,  金属Pd ,  Auナノ粒子 ,  自己組織化