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J-GLOBAL ID：201302293556140687   整理番号：13A1181175

355nm Nd:YAGを用いるレーザミクロ機械加工PMN-PT単結晶の切り溝プロフィルおよびピエゾ応答研究

Kerf profile and piezoresponse study of the laser micro-machined PMN-PT single crystal using 355nm Nd:YAG

著者 (6件)： LAM K.h. (Dep. of Applied Physics, The Hong Kong Polytechnic Univ., Hunghom, Hong Kong, CHN) ,  CHEN Y. (Dep. of Applied Physics, The Hong Kong Polytechnic Univ., Hunghom, Hong Kong, CHN) ,  AU K. (Dep. of Applied Physics, The Hong Kong Polytechnic Univ., Hunghom, Hong Kong, CHN) ,  CHEN J. (Dep. of Applied Physics, The Hong Kong Polytechnic Univ., Hunghom, Hong Kong, CHN) ,  DAI J.y. (Dep. of Applied Physics, The Hong Kong Polytechnic Univ., Hunghom, Hong Kong, CHN) ,  LUO H.s. (Shanghai Inst. of Ceramics, The Chinese Acad. of Sciences, Shanghai, CHN)
資料名： Materials Research Bulletin  (Materials Research Bulletin)
巻： 48  号： 9  ページ： 3420-3423  発行年： 2013年09月 
JST資料番号： B0954A  ISSN： 0025-5408  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： PMN-PT単結晶のレーザミクロ機械加工に関する系統的な研究を行った。355nm Nd:YAGレーザーを用いてPMN-PT単結晶をミクロ機械加工した。レーザミクロ機械加工したPMN-PT単結晶の切り溝プロフィルおよび切削品質をレーザプロセスパラメータの関数として調べた。切り溝の深さとレーザ動力との間の正比例関係が除去する必要のある深さを決定する上で効果的な参照を提供することが見いだされた。このことはレーザミクロ機械加工によって単結晶を用いるミクロデバイスを作製するために有意義であった。物理的挙動の他にPMN-PT単結晶のピエゾ応答もPFMによって検討した。結果によりレーザミクロ機械加工はPMN-PT単結晶の巨視的な圧電性能に影響を及ぼさないであろうことが明らかにされた。本研究はNd:YAGレーザーを用いるPMN-PT単結晶の任意の幾何形状へのミクロパターン化の実現可能性を示した。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *レーザ加工 ,  *Nd-YAGレーザ ,  *チタン酸塩 ,  *ニオブ酸塩 ,  *マグネシウム化合物 ,  *鉛化合物 ,  単結晶 ,  マイクロマシニング ,  圧電素子
準シソーラス用語： PMN-PT ,  ピエゾ素子 ,  マイクロ加工

分類 (2件)： 固-気界面一般  (CB12041H) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (10件)： Nd ,  YAG ,  レーザ ,  ミクロ機械加工 ,  PMN-PT ,  単結晶 ,  切り溝 ,  プロフィル ,  応答 ,  研究