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J-GLOBAL ID：201302293745227203   整理番号：13A1740711

PDMS基板の極低温微細切削加工

Cryogenic Micromachining of PDMS Substrate

著者 (1件)： 青山藤詞郎 (慶応大 理工)
資料名： 新生資源協会研究報告書(CD-ROM)
巻： 2010  ページ： ROMBUNNO.11  発行年： 2010年 
JST資料番号： X0978B  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,バイオメディカルやマイクロ流体工学分野において,マイクロ流体チップ上で生化学分析を行うマイクロTAS(Total Analysis System)が注目されている。特にポリジメチルシロキサン(PDMS)はマイクロ流体チップの主流な材料である。最近では3次元複雑流路を持った高付加価値マイクロ流体チップのテーラーメイド生産が望まれている。そこで本研究では温度による材料特性の変化に着目し,このチップを高精度かつ短時間で製造する技術として,PDMSをガラス状態にして微細切削する「極低温微細切削加工法」を提案し,本手法のメカニズムおよび加工特性を明らかにした。3次元微細流路をもつマイクロ流体チップを試作・評価し,本手法の実用性を確認した。さらに予変形極低温微細切削加工法を提案し,従来の加工技術では作製困難である曲がり穴などの特殊形状流路パターンが加工できることを示した。更に,提案手法を用い,微細流路が立体的に交差する3Dマイクロ流体チップの製造に成功した。(著者抄録)

シソーラス用語： *ポリジメチルシロキサン ,  分析機器 ,  チップ ,  *流体素子 ,  *マイクロマシニング ,  切削 ,  チャネル ,  極低温 ,  マイクロ流体デバイス ,  マイクロチャネル
準シソーラス用語： PDMS【重合体】 ,  マイクロTAS ,  マイクロ流体チップ ,  マイクロ流体素子 ,  マイクロ流路 ,  微細流路 ,  冷却切削

分類 (2件)： 流体式制御機器  (IC02030J) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： PDMS ,  極低温 ,  微細 ,  切削加工