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J-GLOBAL ID：201302293799706085   整理番号：13A1720491

シリコンワイヤーアレイの作製とそれを用いた蛍光強度増強

著者 (4件)： 坂本全教 (広島大 大学院) ,  玉光弘典 (広島大 大学院) ,  齋藤健一 (広島大 大学院) ,  齋藤健一 (広島大 自然科セ)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 74th  ページ： ROMBUNNO.17A-P9-3  発行年： 2013年08月31日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *蛍光 ,  *ナノ構造 ,  *ケイ素 ,  可視発光スペクトル ,  *リソグラフィー ,  エッチング ,  *放射強度 ,  *ナノワイヤアレイ ,  *蛍光強度
準シソーラス用語： *ナノリソグラフィー

分類 (3件)： 半導体の可視・紫外スペクトル  (BM08083Y) ,  原子・分子のクラスタ  (BH09030O) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 作製 ,  蛍光強度 ,  増強