抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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ドップラ効果を利用したレーザドップラ振動計の様々なバリエーションにおいて,高周波数の振動測定が可能な振動計や横方向振動の測れる振動計,グリーンレーザを使用したものやISO16063-41に適合した振動計などを紹介する。開発した顕微鏡型レーザドップラ振動計の一つである光ヘテロダイン微小振動測定装置は,キャリア周波数を1GHzとすることで,200MHzまでの振動が計測できる。電動ステージとの組合わせにより,振動体の振動面を解析ソフトを使用して合成し,振動アニメーションを作成することもできる。YAGレーザの二次高調波である532nmのグリーンレーザを使用した振動計について概要を述べる。