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J-GLOBAL ID：201302294188622940   整理番号：13A1007927

単一原子素子の非侵襲的空間計測

Noninvasive Spatial Metrology of Single-Atom Devices

著者 (8件)： MOHIYADDIN Fahd A. (Univ. New South Wales, NSW, AUS) ,  RAHMAN Rajib (Sandia National Lab., New Mexico, USA) ,  KALRA Rachpon (Univ. New South Wales, NSW, AUS) ,  KLIMECK Gerhard (Purdue Univ., Indiana, USA) ,  HOLLENBERG Lloyd C. L. (Univ. Melbourne, VIC, AUS) ,  PLA Jarryd J. (Univ. New South Wales, NSW, AUS) ,  DZURAK Andrew S. (Univ. New South Wales, NSW, AUS) ,  MORELLO Andrea (Univ. New South Wales, NSW, AUS)
資料名： Nano Letters  (Nano Letters)
巻： 13  号： 5  ページ： 1903-1909  発行年： 2013年05月 
JST資料番号： W1332A  ISSN： 1530-6984  CODEN： NALEFD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノ構造中の単一ドーパント原子の位置は,高度に微細化されたトランジスタあるいはスピン系素子の機能に大きく影響し得る。そこで,シリコン中のリン単一原子によるスピン量子ビット素子に対する超微細相互作用/基底状態エネルギー/容量結合のミクロ的モデル化に基づき,リン原子位置を特定し得る非侵襲的空間計測を研究した。この方法は,ドナー位置の三角形分割を可能にし,量子ビット原子を二方向では±2.5nmの精度で,三方向では±15nmの精度で位置決めすることが可能となった。この結果は,イオン注入パラメータから得られる位置情報を1500倍改善することを述べた。

シソーラス用語： *単一性 ,  *原子 ,  *半導体素子 ,  *非破壊検査 ,  ナノ構造 ,  ドーパント ,  位置 ,  微細加工 ,  トランジスタ ,  ケイ素 ,  リン ,  *スピン ,  量子情報 ,  ビット ,  相互作用 ,  *基底状態 ,  エネルギー ,  *電磁結合 ,  モデリング ,  三角形分割 ,  *位置決め
準シソーラス用語： 非侵襲計測 ,  容量結合 ,  量子ビット

分類 (3件)： 物理化学一般その他  (CB01030T) ,  磁性体測定技術・装置  (BM06030I) ,  トランジスタ  (NC03070N)

タイトルに関連する用語 (3件)： 単一原子 ,  非侵襲的 ,  計測