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J-GLOBAL ID：201302294391050420   整理番号：13A1886962

ふきつける加工-噴射加工-のいま 噴射加工の現状と最新の技術動向

著者 (1件)： 北嶋弘一 (関西大)
資料名： 砥粒加工学会誌  (Abrasive Technology)
巻： 57  号： 12  ページ： 766-769  発行年： 2013年12月01日 
JST資料番号： L0473A  ISSN： 0914-2703  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 噴射加工は,加速させた固体粒子を加工物の表面に投射して表面や形状の創成を行う。これまで,表面のクリーニング加工,バリ取り,ショットピーニングなどを目的に用いてきたが,加工面の形状精度を保証する噴射制御に難があった。近年,フォトリソグラフィーによるパターンマスクの精細化,固体粒子の微細化や噴射制御の精密化が進み,また噴射加工の微細化,加工対象の広がりがセラミックス,ガラスやシリコンなどの硬脆材料へも進んだ。ここでは,噴射加工に用いる噴射材・投射材の材質,及び噴射する粒子・加速媒体毎に分類した加工法を一覧した後,以下の加工法の個々について述べた。1)マイクロブラスト加工法(パターンマスクを用いてパターン形成させる,キャリアガスで加速した微細砥粒をノズルから噴出し,硬脆材の脆性モード微細加工を行う),2)アブレイシブジェット加工法(マスクレスでパターン形成させる,微細砥粒を高速ガス噴流で加速し小径ノズルから噴射し,高脆材を微細脆性モード加工する),3)ガスデポジション加工法(アブレイシブジェット加工法を用いて,大気圧環境下で付着加工を行う),4)ナノアブレージョン加工法(水に混合した微細砥粒を硬脆材に噴射しマスクレスで延性モード加工を行う),5)アブレイシブウォータジェット加工法(水中で微細砥粒を混合しマスキングした加工物の微細加工を行う),6)マイクロアイスジェット加工法(マイクロアイスまたはドライアイス微小粒子を加工物に噴射衝突させ微細加工や洗浄を行う),並びに7)ブラスト研磨加工法(粘弾性材料の研磨メディアを加工物に衝突し,加工物表面上を擦過し,鏡面研磨を行う)。

シソーラス用語： 加工 ,  *噴射 ,  粒子 ,  *微細加工 ,  硬質 ,  材料 ,  脆性 ,  セラミック ,  ガラス ,  ケイ素 ,  投射物体 ,  砥粒 ,  マスク ,  *パターン形成 ,  付着 ,  ナノ構造 ,  洗浄 ,  ドライアイス ,  氷 ,  *研磨 ,  研磨剤 ,  鏡面仕上
準シソーラス用語： アブレイシブウォータジェット加工 ,  アブレイシブジェット加工 ,  ガスデポジション加工 ,  ナノアブレージョン加工 ,  ナノパターン形成 ,  *ブラスト研磨 ,  マイクロアイスジェット加工 ,  マイクロブラスト加工 ,  硬脆材料 ,  投射材 ,  微細砥粒 ,  氷粒子 ,  *噴射加工

分類 (2件)： 特殊加工  (QC04000Y) ,  研削  (QC03000R)

タイトルに関連する用語 (3件)： 噴射加工 ,  現状 ,  技術動向