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J-GLOBAL ID：201302295923858789   整理番号：13A1660133

ZnOナノワイヤが埋め込まれた歪検知カンチレバー:新しい超高感度テクノロジープラットフォーム

ZnO Nanowire Embedded Strain Sensing Cantilever: A New Ultra-Sensitive Technology Platform

著者 (2件)： RAY Prasenjit (Indian Inst. Technol., Mumbai, IND) ,  RAO V. Ramgopal (Indian Inst. Technol., Mumbai, IND)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 22  号： 5  ページ： 995-997  発行年： 2013年10月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 新しい超高感度マイクロカンチレバーに基づくテクノロジープラットフォームを,歪検知に応用するために開発した。検知メカニズムは,SU-8ポリマーカンチレバービームに埋め込まれたZnOナノワイヤ中の電気伝導に基づく。ポリマーの低いヤング率およびZnOナノワイヤのより高い歪感度によって,これらのマイクロカンチレバーデバイスの性能が向上する。この技術の偏向感度は,128ppm/nmと測定された。電気機械的特性評価の他に,これらのマイクロカンチレバーデバイスの共振周波数を測定するために,機械的特性評価も行った。それは20,30キロヘルツの範囲であり,ナノメカニカル検知応用に適していることが示された。

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,  *ナノワイヤ ,  *埋込み【挿入】 ,  *歪測定 ,  *片持梁 ,  *高感度 ,  電気伝導 ,  マイクロマシニング ,  Young率 ,  フォトレジスト ,  共振周波数 ,  光学的測定
準シソーラス用語： 超高感度 ,  微小片持梁 ,  SU-8

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： ZnOナノワイヤ ,  歪 ,  カンチレバー ,  高感度 ,  テクノロジー ,  プラットフォーム