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J-GLOBAL ID：201302296734236277   整理番号：13A1506556

スピンコーティングした二酸化チタンの時間分解光散乱の研究

Time-resolved light scattering studies of Spin-coated titanium dioxide

著者 (2件)： SMITH Nathanael J. (Middle Tennessee State Univ., Dep. of Physics and Astronomy, Murfreesboro, TN, USA) ,  BUNNELL Ben (Middle Tennessee State Univ., Dep. of Physics and Astronomy, Murfreesboro, TN, USA)
資料名： Journal of Sol-Gel Science and Technology  (Journal of Sol-Gel Science and Technology)
巻： 67  号： 3  ページ： 429-435  発行年： 2013年09月 
JST資料番号： W0812A  ISSN： 0928-0707  CODEN： JSGTEC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： スピンコーティングは緻密で耐久性のあるチタンアルコキシドの薄膜を形成する迅速かつ簡単な方法である。本報告では,チタン(IV)エトキシドゾルのスピンコーティング過程における二酸化チタン薄膜形成の動力学を理解するために光干渉技術を使用し,4段薄肉化モデルを提案した。時間の関数として干渉縞の光監視は,時間依存の膜厚の測定を干渉縞分離の測定を通して可能にする。一方,ゾルからゲルへの転移は干渉縞の可視性を分析することにより監視できる。2000回転以上の高速で回転している膜においては,5秒のスピン持続時間は最終的な厚さに到達するために十分である。一定の回転速度で,5秒以上の回転時間は最終的な膜厚に影響しない。一方,回転速度を増加させることにより薄い最終フィルム厚さが得られる。全ての膜は熱処理により緻密化することが見出され,回転速度によらず,熱処理前の厚さは,熱処理により約0.4倍になった。スピンコートした二酸化チタン膜は,染料および量子ドットを集光剤として採用する次世代太陽電池を低コストで大規模化可能方法として重要な役割を果たすことが期待される。Copyright 2013 Springer Science+Business Media New York Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *酸化チタン ,  *薄膜 ,  基板 ,  ウエハ【IC】 ,  ケイ素 ,  *スピンコーティング ,  チタン化合物 ,  アルコラート ,  *光干渉法 ,  厚み ,  モデル ,  膜厚 ,  熱処理 ,  緻密化 ,  太陽電池 ,  *薄膜成長 ,  *動力学
準シソーラス用語： Siウエハ ,  *薄肉化 ,  二酸化チタン

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光学スペクトル及び光散乱一般  (BM08050S)

物質索引 (1件)： テトラエトキシチタン(IV)

タイトルに関連する用語 (5件)： スピンコーティング ,  二酸化チタン ,  分解 ,  光散乱 ,  研究