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J-GLOBAL ID：201302296750618090   整理番号：13A1290614

パルス化学蒸着により誘起したグラフェン成長の実時間光学診断

Real-time optical diagnostics of graphene growth induced by pulsed chemical vapor deposition

著者 (7件)： PURETZKY Alexander A. (Oak Ridge National Lab., TN, USA) ,  GEOHEGAN David B. (Oak Ridge National Lab., TN, USA) ,  PANNALA Sreekanth (Oak Ridge National Lab., TN, USA) ,  ROULEAU Christopher M. (Oak Ridge National Lab., TN, USA) ,  REGMI Murari (Oak Ridge National Lab., TN, USA) ,  THONNARD Norbert (Oak Ridge National Lab., TN, USA) ,  ERES Gyula (Oak Ridge National Lab., TN, USA)
資料名： Nanoscale  (Nanoscale)
巻： 5  号： 14  ページ： 6507-6517  発行年： 2013年07月21日 
JST資料番号： W2323A  ISSN： 2040-3364  CODEN： NANOHL  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高温におけるグラフェンの核形成と成長を紫外Raman分光法,光反射率測定,顕微鏡による動画を用いて調べた。冷却時に析出するグラフェンの比率を明確に決定した。アセチレン分圧を変えてガスのサブ秒パルスを用いて,グラフェンの核形成と成長の動力学を調べ,種々の成長ステップを明らかにした。成長動力学と部分的等温析出は,与えられた膜厚と温度に対して化学蒸着パルスのC₂²H分圧により支配された。観測した等温成長のフラックス依存性を溶解析出モデルの観点から論じた。

シソーラス用語： *化学蒸着 ,  *炭素材 ,  *薄膜成長 ,  核形成 ,  Ramanスペクトル ,  光反射 ,  電子顕微鏡観察 ,  析出 ,  フラックス【流束】 ,  *グラフェン
準シソーラス用語： *パルス化学蒸着 ,  フラックス依存性

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (7件)： パルス ,  化学蒸着 ,  誘起 ,  グラフェン ,  成長 ,  実時間 ,  光学診断