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J-GLOBAL ID：201302296806835332   整理番号：13A1284083

高密度キャパシタのための超低損失鉛-マグネシウム-ニオブチタン酸塩薄膜に対する処理手段の効果

Effect of processing options on ultra-low-loss lead-magnesium-niobium titanate thin films for high density capacitors

著者 (7件)： CHEN Wenbin (Guangxi Key Lab. of Manufacturing System & Advanced Manufacturing Technol., School of Mechanical and Electrical ...) ,  MCCARTHY Kevin G. (Dep. of Electrical and Electronic Engineering, Univ. Coll. Cork, Ireland) ,  O’BRIEN Shane (Tyndall National Inst., Univ. Coll. Cork, Ireland) ,  COPUROGLU Mehmet (Dep. of Chemistry, Bilkent Univ., 06800 Bilkent, Ankara, TUR) ,  CAI Miao (Guangxi Key Lab. of Manufacturing System & Advanced Manufacturing Technol., School of Mechanical and Electrical ...) ,  WINFIELD Richard (Tyndall National Inst., Univ. Coll. Cork, Ireland) ,  MATHEWSON Alan (Tyndall National Inst., Univ. Coll. Cork, Ireland)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 541  ページ： 117-120  発行年： 2013年08月31日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この研究は,アニーリング温度のシリコン基板上に成長したPMNT(鉛-マグネシウム-ニオブチタン酸塩,Pb(Mg_0.33Nb_0.67)_0.65Ti_0.35O₃)薄膜に対する影響を調べた。誘電定数および損失正接などの薄膜の電気的性質は,アニーリング温度に強く依存し,最良の電気的性質は,最高のアニーリング温度において達成されることが示された。750°Cにおいてアニーリング処理した試料において,ペロブスカイト相が最も高かった。400°Cにおいてアニーリング処理した試料は,1MHzの周波数において,約0.007の最も低い損失正接を示した。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *損失正接 ,  ニオブ酸塩 ,  マグネシウム化合物 ,  鉛化合物 ,  チタン酸鉛 ,  固溶体 ,  *薄膜 ,  誘電体薄膜 ,  コンデンサ ,  損失 ,  *温度 ,  焼なまし ,  ウエハ【IC】 ,  誘電率 ,  ペロブスカイト型結晶 ,  電気的性質 ,  相転移 ,  スピンコーティング ,  白金 ,  酸化チタン ,  二酸化ケイ素 ,  酸化物 ,  エーテル ,  脂肪族アルコール ,  脂肪族カルボン酸 ,  カルボアミド ,  脂肪酸 ,  カルボン酸塩
準シソーラス用語： Pt ,  アニーリング ,  *アニーリング温度 ,  アニーリング処理 ,  キャパシタ ,  シリコン基板 ,  マグネシウムニオブ酸鉛 ,  強誘電体キャパシタ ,  *酸化物薄膜 ,  低損失 ,  誘電定数 ,  二酸化チタン ,  ペロブスカイト相

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  電気的性質  (WB02010Y)

物質索引 (7件)： 1-ベンゾイルシクロヘキサノール ,  2-メトキシエタノール ,  ホルムアミド ,  酢酸鉛 ,  ジエトキシマグネシウム ,  ペンタエトキシニオブ(V) ,  テトラプロポキシチタン(IV)

タイトルに関連する用語 (7件)： キャパシタ ,  低損失 ,  鉛 ,  マグネシウム ,  ニオブ ,  チタン酸塩 ,  薄膜