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J-GLOBAL ID：201302297422520632   整理番号：13A0814480

磁気スパッタリングを用いて堆積した白金熱感知膜に関する研究

Study on Platinum Thermal Sensitive Films Deposited Using Magnetic Sputtering

著者 (4件)： CAI Changlong (Xi’an Technological Univ., Xi’an, CHN) ,  LIU Weiguo (Xi’an Technological Univ., Xi’an, CHN) ,  ZHOU Shun (Xi’an Technological Univ., Xi’an, CHN) ,  ZHAI Yujia (Xi’an Technological Univ., Xi’an, CHN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8419  ページ： 841916.1-841916.6  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マグネトロンスパッタリングを用いた白金膜の堆積における技術的パラメータを研究し,ユニット微細構造及び作製プロセスフロ-を設計し,白金膜に基づいたユニットを検出する赤外熱イメージングを作製した。良好な技術パラメータとして,アルゴン流100sccm,及び作動圧力0.8Paを得た。この条件下で,膜のTCRは1.62‰/K,及びそのシート抵抗は130.88Ω/□であった。テスト結果は,Pt膜に基づいた赤外熱イメージング検出ユニットの特性が,良好で,そのTCRが約1.64‰/K,及び熱応答は良好であることを示した。

シソーラス用語： *白金 ,  金属薄膜 ,  マグネトロンスパッタリング ,  微細構造 ,  工程 ,  単位 ,  *撮像 ,  *熱画像 ,  *アルゴン ,  流量 ,  圧力 ,  *温度係数 ,  シート抵抗 ,  熱応答
準シソーラス用語： TCR【温度係数】 ,  プロセス ,  ユニット ,  *赤外イメージング

分類 (3件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  金属の電子伝導一般  (BM03031E)

タイトルに関連する用語 (6件)： 磁気 ,  スパッタリング ,  堆積 ,  白金 ,  熱感知 ,  研究