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J-GLOBAL ID：201302297619427367   整理番号：13A0916718

レーザターゲットの浸透障壁用としてのガラススパッタリングの最適化

OPTIMIZATIONS IN SPUTTERING GLASS AS PERMEATION BARRIER FOR LASER TARGETS

著者 (4件)： LE TACON S. (CEA, Is Sur Tille, FRA) ,  DURUT F. (CEA, Is Sur Tille, FRA) ,  CHICANNE C. (CEA, Is Sur Tille, FRA) ,  BRUNET V. (CEA, Is Sur Tille, FRA)
資料名： Fusion Science and Technology  (Fusion Science and Technology)
巻： 63  号： 2  ページ： 132-135  発行年： 2013年03月 
JST資料番号： A0310B  ISSN： 1536-1055  CODEN： FUSTE8  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： レーザ核融合ターゲット用に,DT燃料ガスを封入した非極低温カプセルを開発している。このような常温プラスチックカプセルに対する半透過性障壁として,ガラス薄膜に注目して開発している。この機能性薄膜は,グロー放電でポリマ化して製作したCH_xマイクロシェル上に石英ターゲットからのスパッタリングを通じて形成する。圧力,RFパワー,ターゲット-ホルダ距離,プラズマ組成等の成膜条件が,ガラス成膜微細構造と透過特性に及ぼす影響を調べた。D₂を充填ガスとして,CH_x/SiO₂/CH_xカプセルの透過特性を質量分析により測定した。アルゴン雰囲気中で低堆積圧力,高RFパワー条件で高い障壁特性が得られることが判明した。最適条件でSiO₂を1μm堆積したD₂を封入1700μmカプセルでは,1月の寿命を実現した。

シソーラス用語： レーザ核融合 ,  *ICFターゲット ,  *スパッタリング ,  *障壁 ,  グロー放電 ,  透過 ,  最適化
準シソーラス用語： ガスターゲット ,  ガラス成膜 ,  *透過障壁

分類 (2件)： 核融合装置  (BJ02083Z) ,  プラズマ生成・加熱  (BJ02060E)

タイトルに関連する用語 (7件)： レーザ ,  ターゲット ,  浸透 ,  障壁 ,  ガラス ,  スパッタリング ,  最適化