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J-GLOBAL ID：201302297748764418   整理番号：13A0087644

多重バッファをもつ適応傾斜白色光走査干渉測定システム

Adaptive Tilted white-light Scanning Interferometry system with multi-bufferring

著者 (4件)： BHANG Jehhoon (LG Electronics) ,  CHANG Kyoungseop (LG Electronics) ,  ROH Youngjun (LG Electronics) ,  SHIM Heungbo (LG Electronics)
資料名： ViEWビジョン技術の実利用ワークショップ講演論文集(CD-ROM)  (ViEW講演論文集(CD-ROM))
巻： 2012  ページ： ROMBUNNO.IS2-A12  発行年： 2012年 
JST資料番号： L4705C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *干渉測定 ,  白色光 ,  三次元 ,  イメージセンサ ,  *バンプ ,  *ICパッケージ ,  検査 ,  FPGA ,  電荷結合素子
準シソーラス用語： CCD【素子】 ,  画像センサ ,  半導体パッケージ

分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (6件)： 多重 ,  バッファ ,  適応 ,  白色光 ,  走査 ,  干渉測定