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J-GLOBAL ID：201302298319189487   整理番号：13A0461839

Structure and mechanical properties of ZrO2 films deposited by gas flow sputtering

著者 (2件)： IWATSUBO S ,  ISHII K
資料名： VACUUM
巻： 83  号： 3  ページ： 579-581  発行年： 2008年 
JST資料番号： O6556A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (1件)： ZrO2