抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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ガラスに微細なマーキングを施すのに,高い吸収係数を有するCO
2レーザの利用が有効である。しかしながら,実際に利用されているCO
2レーザはTEA-CO
2レーザやQスイッチCO
2レーザといったもので,これらは大型,装置の複雑性,高コスト等,利用が制限される課題があった。本研究においては,この課題に対して,シンプル・ポータブル・低コスト・メンテナンスフリーを特徴とするCO
2レーザの開発に取り組んだ。この実現のために軸方向放電励起方式によるCO
2レーザの適用を図った。実験においては,開発したダイレクトドライブ回路による発振特性とパルステールの要因となる主放電後の低電流を除去するためのシャント抵抗の効果について調べた。これらから,任意にレーザパルス波形および出力エネルギーを調整できる部品点数の少ない簡便な軸方向放電励起超短パルスCO
2レーザを開発できたことを示した。