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J-GLOBAL ID：201302299252425691   整理番号：13A0749980

TiO₂/ITO薄膜中のITOの電気的性質に及ぼす温度の効果

Effect of temperature on the electrical properties of ITO in a TiO₂/ITO film

著者 (5件)： NISHIMOTO Naoki (Shimane Inst. for Industrial Technol., Shimane, JPN) ,  YAMADA Yasuji (Shimane Univ., Shimane, JPN) ,  OHNISHI Yosuke (Shimane Univ., Shimane, JPN) ,  IMAWAKA Naoto (Shimane Inst. for Industrial Technol., Shimane, JPN) ,  YOSHINO Katsumi (Shimane Inst. for Industrial Technol., Shimane, JPN)
資料名： Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science  (Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻： 210  号： 3  ページ： 589-593  発行年： 2013年03月 
JST資料番号： D0774A  ISSN： 1862-6300  CODEN： PSSABA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 透明導電性酸化物薄膜の開発研究の一環として,本研究では,スパッタ蒸着したTiO₂/ITO薄膜中のITOについて,電気的性質に及ぼすアニーリング温度の効果を調べた。試料のキャラクタリゼーションには,走査電子顕微鏡法,X線回折,電気抵抗率測定,紫外可視赤外吸収分光法を用いた。その結果に基づいて,1)粒径が大きいITO基板は,粒径が小さい場合よりも熱安定性が高いこと,2)TiO₂/ITO構造の熱安定性は,TiO₂厚の増大と共に改善されること,3)高抵抗試料での電子密度低下は,酸素吸着に伴う粒界ポテンシャルの変化に起因すること,などを記した。

シソーラス用語： 化合物半導体 ,  酸化物 ,  *酸化チタン ,  スパッタ蒸着 ,  *基板 ,  ガラス ,  電子顕微鏡観察 ,  走査電子顕微鏡 ,  X線回折 ,  *電気抵抗率 ,  紫外可視吸収スペクトル ,  赤外吸収スペクトル ,  焼なまし ,  温度依存性 ,  *半導体薄膜 ,  *酸化インジウムスズ ,  粒度 ,  熱安定性 ,  サイズ効果
準シソーラス用語： ITOガラス ,  透明導電性酸化物

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  その他の無機化合物の電気伝導  (BM03044O)

タイトルに関連する用語 (4件)： TiO2 ,  ITO薄膜 ,  ITO ,  電気的性質