特許
J-GLOBAL ID：201303000113355415
EDS信号の解析方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
, 大貫 進介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-087150
公開番号（公開出願番号）：特開2013-224938
出願日： 2013年04月18日
公開日（公表日）： 2013年10月31日
要約：
【課題】シリコンドリフト型検出器(SDD)の出力信号の解析方法を提供する。【解決手段】シリコンドリフト型検出器(SDD)は、走査型電子顕微鏡及びX線分析装置でのX線の検出に用いられる。SDDの信号は多数の無作為に離間した多数のステップを有し、X線エネルギーの関数であるステップ高さの変化は、ステップ間でのプラトー領域を決定するのに用いられ得る平均化時間の関数で、短い間隔にわたって平均化すると長い間隔よりプラトー値がより不確実になる。ステップ高さが、前のプラトー値と後のプラトー値の決定に依拠するので、ステップ高さの信頼性/ばらつきはそれぞれ異なる。重み付け因子に従うことによって、重み付け因子はばらつきの関数となり、ばらつきの小さいステップは、ばらつきの大きいステップよりも、大きな重み付け因子に関連付けられ、ばらつきの小さい(高い信頼性)に対応する測定値が強調され、スペクトル分解能が良好になる。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
無作為に離間したステップを含む放射線センサの信号を解析する方法であって:
ステップの存在を検出する手順;
隣接するステップ間の時間間隔を推定する手順;
第1フィルタ挙動によってステップの前の信号をフィルタリングする手順;
第2フィルタ挙動によってステップの後の信号をフィルタリングする手順;
前記ステップの高さを推定する手順;
複数のステップから、前記の推定されたステップ高さに従って密度分布又はヒストグラムを生成する手順;
を有し、
前記ステップの高さの推定の分散が、前記ステップの前のプラトーの分散の推定と前記ステップの後のプラトーの分散の推定を用いることによって推定され、
前記プラトーの分散の推定は、前記プラトーの各々の間隔の長さと、前記間隔の長さと前記信号のノイズ挙動を考慮したモデルに基づき、
前記複数のステップの各々は、重み因子に従った密度分布又はヒストグラムに寄与し、
前記重み因子は前記分散の関数で、
前記関数は、低分散のステップを、高分散のステップよりも大きな重み因子と関連付け、
その結果、高信頼性に相当する低分散のステップ高さの推定が強調される、
ことを特徴とする方法。
IPC (5件)：
G01T 1/36
, G01T 1/24
, G01N 23/225
, G01N 23/223
, G01N 23/04
G01T1/36 A
, G01T1/36 D
, G01T1/24
, G01N23/225
, G01N23/223
, G01N23/04
2G001AA01
, 2G001AA03
, 2G001BA04
, 2G001BA05
, 2G001BA15
, 2G001CA01
, 2G001CA03
, 2G001DA01
, 2G001DA02
, 2G001EA03
, 2G001GA06
, 2G188AA23
, 2G188AA27
, 2G188BB03
, 2G188BB15
, 2G188CC28
, 2G188CC31
, 2G188EE17
出願人引用 (2件)
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放射線解析装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-050421
出願人：フィリップスエレクトロニクスネムローゼフェンノートシャップ
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X線動画形成方法および装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-000703
出願人：株式会社日立エンジニアリングサービス
審査官引用 (2件)
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放射線解析装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-050421
出願人：フィリップスエレクトロニクスネムローゼフェンノートシャップ
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X線動画形成方法および装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-000703
出願人：株式会社日立エンジニアリングサービス
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