摩擦真空ポンプ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：矢野敏雄 , 久野琢也 , アインゼル・フェリックス=ラインハルト
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-556016
特許番号：特許第4819277号
出願日： 2001年01月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】摩擦ポンプ(1)であって、静翼列を支持する定置の構成部材(7)と、動翼列を支持する回転する構成部材(6)とが設けられており、静翼列および動翼列が、回転する構成部材(6)の回転軸線(4)に対して同心的に配置されており、静翼列と動翼列とが互いに入り込むように係合している形式のものにおいて、動翼列を支持する構成部材(6)および静翼列を支持する構成部材(7)が、実質的にポンプ半径方向で延びており、翼(2,3)の長手軸線が、実質的に軸方向で延びており、翼(2,3)を支持する構成部材(6,7)が、円板状に形成されており、当該摩擦ポンプ(1)が、外側から内側に向かってガスの貫流を行うように形成されており、翼長さが、ポンプ外側から内側に向かって減少していることを特徴とする、摩擦ポンプ。

IPC (2件)：