特許
J-GLOBAL ID：201303001088057451
装置情報送信装置、装置情報送信システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
河野 登夫
, 河野 英仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-070035
公開番号（公開出願番号）：特開2013-201378
出願日： 2012年03月26日
公開日（公表日）： 2013年10月03日
要約：
【課題】半導体工場の構外から半導体製造装置の遠隔監視を行うことを可能にする装置情報送信装置を提供する。【解決手段】製造装置の状態を示す情報を取得する取得手段を備え、取得した情報を外部へ送信する装置情報送信装置に、前記製造装置の状態を示す情報を外部へ送信すべきか否かを判定するための送信条件を記憶する送信条件記憶手段と、前記取得手段にて取得した情報が前記送信条件を満たすか否かを判定する判定手段と、該判定手段が前記送信条件を満たすと判定した場合、メール送信プロトコルに従って、前記製造装置の情報を外部へ送信する送信手段とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
製造装置の状態を示す情報を取得する取得手段を備え、取得した情報を外部へ送信する装置情報送信装置において、
前記製造装置の状態を示す情報を外部へ送信すべきか否かを判定するための送信条件を記憶する送信条件記憶手段と、
前記取得手段にて取得した情報が前記送信条件を満たすか否かを判定する判定手段と、
該判定手段が前記送信条件を満たすと判定した場合、メール送信プロトコルに従って、前記製造装置の情報又は該情報が前記送信条件を満たした旨を示す所定情報を外部へ送信する送信手段と
を備えることを特徴とする装置情報送信装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/02 Z
, G06F21/24 160A
