特許
J-GLOBAL ID：201303001900410837

粒子源及びその粒子源を用いたデバイス

発明者：
劉 華榮

劉 華榮 について

, 
陳 娉

陳 娉 について


出願人/特許権者：
中國電子科技集團公司第三十八研究所

中國電子科技集團公司第三十八研究所 について


代理人 (3件)： 山田 卓二 ,  田中 光雄 ,  山田 裕三
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-514549
公開番号（公開出願番号）：特表2013-528915
出願日： 2012年05月04日
公開日（公表日）： 2013年07月11日
要約：
本発明は、粒子源を提供する。本発明の粒子源は、緩やかな頂部を有する台座と、台座の頂部上の微小な突起が形成される針先とを備える。
請求項（抜粋）：
緩やかな頂部を有する台座と、 台座の頂部上の微小な突起が形成される針先とを、備えることを特徴とする粒子源。
IPC (5件)：
H01J 27/26 ,  H01J 37/073 ,  H01J 37/08 ,  H01J 9/02 ,  H01J 1/304
FI (6件)：
H01J27/26 ,  H01J37/073 ,  H01J37/08 ,  H01J9/02 S ,  H01J1/30 F ,  H01J9/02 B
Fターム (21件)：
5C030CC02 ,  5C030DF02 ,  5C127AA04 ,  5C127AA05 ,  5C127AA11 ,  5C127BA03 ,  5C127BA10 ,  5C127BB02 ,  5C127CC03 ,  5C127DD38 ,  5C127DD70 ,  5C127DD72 ,  5C127EE02 ,  5C135AA03 ,  5C135AA10 ,  5C135AB02 ,  5C135AC01 ,  5C135AC03 ,  5C135AC04 ,  5C135HH02 ,  5C135HH20
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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