特許

J-GLOBAL ID：201303003080178937

固体撮像素子の製造方法、固体撮像素子、電子機器の製造方法、および電子機器。

発明者： 桝田 佳明
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (2件)： 松尾 憲一郎 ,  市川 泰央
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-142428
公開番号（公開出願番号）：特開2013-012506
出願日： 2011年06月28日
公開日（公表日）： 2013年01月17日
要約：

【課題】各画素の受光部に対応して設けられるレンズ同士の境界部分に遮光部を設けるに際し、遮光部をセルフアラインで形成することができ、レンズと遮光部とのパターン合わせ精度を向上することができ、微細化や画素数の増大に容易に対応することができる固体撮像素子の製造方法を提供する。【解決手段】本開示の固体撮像素子の製造方法は、半導体基板上の撮像領域に配列される複数の画素の各画素の前記受光部に対応して設けられ、前記受光部に対して光を集光するレンズを形成する工程と、前記レンズ上に、遮光性を有する材料により成膜することで、遮光層を形成する工程と、互いに隣り合う前記レンズの境界部分に前記遮光性を有する材料を残すように前記遮光層をエッチングすることで、前記レンズの境界部分に、前記遮光性を有する材料からなる遮光部を形成する工程と、を含む。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

半導体基板上の撮像領域に配列される複数の画素の各画素の前記受光部に対応して設けられ、前記受光部に対して光を集光するレンズを形成する工程と、 前記レンズ上に、遮光性を有する材料により成膜することで、遮光層を形成する工程と、 互いに隣り合う前記レンズの境界部分に前記遮光性を有する材料を残すように前記遮光層をエッチングすることで、前記レンズの境界部分に、前記遮光性を有する材料からなる遮光部を形成する工程と、を含む、 固体撮像素子の製造方法。

IPC (3件)：

H01L 27/14 ,  H01L 31/10 ,  H04N 5/369

FI (3件)：

H01L27/14 D ,  H01L31/10 A ,  H04N5/335 690

Fターム (30件)：

4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118CA03 ,  4M118CA32 ,  4M118CB14 ,  4M118DA03 ,  4M118DB07 ,  4M118DB08 ,  4M118DD04 ,  4M118EA01 ,  4M118FA06 ,  4M118GB11 ,  4M118GB19 ,  4M118GC08 ,  4M118GD04 ,  5C024AX01 ,  5C024CX11 ,  5C024EX43 ,  5C024GX03 ,  5F049MA02 ,  5F049NB05 ,  5F049PA14 ,  5F049RA02 ,  5F049SS03 ,  5F049SZ13 ,  5F049TA12 ,  5F049TA13 ,  5F049WA03