特許

J-GLOBAL ID：201303004539051184

質量分析装置

発明者： 岩崎 光太
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (9件)： 岡部 讓 ,  臼井 伸一 ,  越智 隆夫 ,  高橋 誠一郎 ,  吉澤 弘司 ,  齋藤 正巳 ,  木村 克彦 ,  ▲濱▼口 岳久 ,  田中 尚文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-223084
公開番号（公開出願番号）：特開2013-101918
出願日： 2012年10月05日
公開日（公表日）： 2013年05月23日
要約：

【課題】従来の質量分析装置では、測定対象物表面に垂直に一次ビームを入射させることができないため、その表面に凹凸がある場合は、一次ビームに対して影になる部分を生じた。その結果、試料から発生するイオンの分布と測定対象表面の物質分布に乖離が生じる問題があった。【解決手段】一次イオン生成部、一次イオンを測定対象物に照射するための一次イオン光学系、二次イオンを検出するための検出器、および測定対象物から検出器までイオンを導く二次イオン光学系を有する質量分析装置において、 当該一次イオン生成部は当該二次イオン光学系のイオン光軸の外に設置し、偏向部を当該測定対象物と当該検出器との間に有することを特徴とする飛行時間型質量分析装置【選択図】図1

請求項（抜粋）：

測定対象物を載置する載置部、一次イオンを生成して飛行させる一次イオン生成部、一次イオンを測定対象物に導いて測定対象物に照射するための一次イオン光学系、該測定対象物から放出された二次イオンを検出する検出部、および測定対象物から該検出部まで該二次イオンを導く二次イオン光学系、を有する質量分析装置であって、 該一次イオン光学系は、一次イオンの軌道を、飛行の途中で、該二次イオンの飛行空間と交わるように偏向する偏向部を有することを特徴とする質量分析装置。

IPC (4件)：

H01J 49/06 ,  H01J 49/10 ,  H01J 49/40 ,  G01N 27/62

FI (4件)：

H01J49/06 ,  H01J49/10 ,  H01J49/40 ,  G01N27/62 G

Fターム (9件)：

2G041CA01 ,  2G041DA16 ,  2G041EA01 ,  2G041GA06 ,  5C038FF04 ,  5C038FF07 ,  5C038FF10 ,  5C038FF11 ,  5C038GG02