特許
J-GLOBAL ID：201303004976405343
個別シートの上に多層コーティングを堆積する装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
松永 宣行
, 辻 徹二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-005560
公開番号（公開出願番号）：特開2013-122092
出願日： 2013年01月16日
公開日（公表日）： 2013年06月20日
要約：
【課題】多層被膜を基板の上に堆積するツールを提供する。【解決手段】1つの構成では、本ツール300は、圧力または温度が制御された環境の少なくとも一つの下で動作するインライン有機材料堆積ステーションを含む。別の構成では、それはさらに、インライン式およびクラスタツールの両方の特徴構造を組み込む複合設計である。この後者の構成では、堆積ステーションの少なくとも1つが無機層を堆積するように構成され、他方で、少なくとも1つの他の堆積ステーションが有機層を堆積するように構成される。本ツールは特に、多層被膜を個別基板の上に堆積することばかりでなく、フレキシブル基板の上に配置された環境に敏感なデバイスをカプセル封じすることにも適切である。安全システムが、本ツールに対する有機材料の分配を監視するために含まれ得る。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
有機材料の少なくとも1つの層を個別基板の上に形成する装置であって、
有機材料堆積ステーションと、
前記有機材料堆積ステーションと協働する有機材料硬化ステーションと、
少なくとも前記有機材料堆積ステーションと前記有機材料硬化ステーションとの間で前記基板を搬送するように構成された基板輸送器と、
減圧源であって、前記有機層を前記個別基板の上に堆積する少なくとも一部の間に、前記減圧源が少なくとも部分的に排気された環境を前記基板の周りに作り出すために動作するように、前記有機材料堆積ステーションと真空連通で配置された減圧源と、
前記有機材料堆積ステーションおよび有機材料硬化ステーションの少なくとも一つと協働して、そこにおける温度が、前記有機材料を前記基板の上に形成する間に制御され得るようにする熱制御機構とを備える、装置。
IPC (5件)：
C23C 14/06
, C23C 14/12
, B32B 9/00
, B32B 27/16
, B32B 37/00
C23C14/06 Q
, C23C14/12
, B32B9/00 A
, B32B27/16
, B32B31/00
4F100AA01A
, 4F100AA01B
, 4F100AK01C
, 4F100AT00A
, 4F100BA02
, 4F100BA03
, 4F100BA10A
, 4F100BA10C
, 4F100EH46
, 4F100EH66
, 4F100EJ08C
, 4F100EJ42
, 4F100EJ59
, 4F100GB41
, 4F100JD01B
, 4K029AA24
, 4K029BA31
, 4K029BA62
, 4K029BB02
, 4K029CA01
, 4K029CA05
, 4K029EA08
, 4K029HA01
, 4K029KA01
