特許

J-GLOBAL ID：201303004987913553

アルカリ土類金属酸化物研磨パッドの形成

発明者： ドナ・エム・オールデン ,  デービッド・ビー・ジェームズ ,  アンドリュー・アール・ワンク ,  ジェームズ・ムルナン
出願人/特許権者： ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ シーエムピー ホウルディングス インコーポレイテッド
代理人 (11件)： 特許業務法人 津国 ,  津国 肇 ,  柳橋 泰雄 ,  伊藤 佐保子 ,  小澤 圭子 ,  三宅 俊男 ,  小國 泰弘 ,  田中 洋子 ,  生川 芳徳 ,  柴田 明夫 ,  石岡 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-099412
公開番号（公開出願番号）：特開2013-237146
出願日： 2013年05月09日
公開日（公表日）： 2013年11月28日
要約：

【課題】半導体、磁性及び光学基材の少なくとも一つを研磨するのに有用なアルカリ土類金属酸化物含有研磨パッドを調製する方法を提供する。【解決手段】気体充填ポリマー微小要素の供給原料流をガスジェットに導入する工程を含み、ポリマー微小要素は、様々な密度、様々な壁厚さ及び様々な粒径を有し、ポリマー微小要素を、コアンダ効果、慣性及び気流抵抗によってポリマー微小要素を分離するための曲面壁を有するコアンダブロックに隣接させながらガスジェット中に通し、様々なアルカリ土類金属酸化物成分をコアンダブロックの曲面壁から分離してポリマー微小要素を浄化する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

半導体、磁性及び光学基材の少なくとも一つを研磨するのに有用なアルカリ土類金属酸化物含有研磨パッドを調製する方法であって、 a.気体充填ポリマー微小要素の供給原料流をガスジェットに導入する工程(前記ポリマー微小要素は、様々な密度、様々な壁厚さ及び様々な粒径を有し、前記ポリマー微小要素の外面の1〜40%をコートするように離散した、ポリマー微小要素の外面に分散したアルカリ土類金属酸化物含有領域を有し、i)5μmよりも大きい粒径を有するアルカリ土類金属酸化物含有粒子、ii)前記ポリマー微小要素の外面の50%超を被覆するアルカリ土類金属酸化物含有領域、及びiii)アルカリ土類金属酸化物含有粒子と凝集して、120μmよりも大きい平均クラスタサイズになったポリマー微小要素、の割合が合計で0.1重量%を超える)、 b.前記ポリマー微小要素を、コアンダ効果、慣性及び気流抵抗によって前記ポリマー微小要素を分離するための曲面壁を有するコアンダブロックに隣接させながら前記ガスジェット中に通す工程、 c.i)5μmよりも大きい粒径を有するアルカリ土類金属酸化物含有粒子、ii)前記ポリマー微小要素の外面の50%超を被覆するアルカリ土類金属酸化物含有領域、及びiii)アルカリ土類金属酸化物含有粒子と凝集して、ポリマー微小要素と会合した120μmよりも大きい平均クラスタサイズになったポリマー微小要素を、前記コアンダブロックの前記曲面壁から分離して、前記ポリマー微小要素を浄化する工程、 d.i)5μmよりも大きい粒径を有するアルカリ土類金属酸化物含有粒子、ii)前記ポリマー微小要素の外面の50%超を被覆するアルカリ土類金属酸化物含有領域、及びiii)アルカリ土類金属酸化物含有粒子と凝集して、120μmよりも大きい平均クラスタサイズになったポリマー微小要素、の割合が合計で0.1重量%未満である前記ポリマー微小要素を収集する工程、及び e.前記ポリマー微小要素をポリマーマトリックスの中に挿入して研磨パッドを形成する工程 を含む方法。

IPC (3件)：

B24B 37/24 ,  H01L 21/304 ,  C08J 5/14

FI (3件)：

B24B37/00 N ,  H01L21/304 622F ,  C08J5/14

Fターム (46件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CA05 ,  3C058CB01 ,  3C058CB10 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17 ,  4F071AA12 ,  4F071AA15 ,  4F071AA24 ,  4F071AA33 ,  4F071AA39 ,  4F071AA42 ,  4F071AA43 ,  4F071AA47 ,  4F071AA50 ,  4F071AA51 ,  4F071AA53 ,  4F071AA60 ,  4F071AA64 ,  4F071AA67 ,  4F071AA86 ,  4F071AB18 ,  4F071AD06 ,  4F071AE13 ,  4F071AF13 ,  4F071AF15 ,  4F071AF20 ,  4F071AF21 ,  4F071AF22 ,  4F071AF25 ,  4F071AH12 ,  4F071AH19 ,  4F071BC11 ,  4F071BC16 ,  4F071DA06 ,  4F071DA09 ,  4F071DA13 ,  4F071DA18 ,  5F057AA03 ,  5F057AA14 ,  5F057AA24 ,  5F057BA11 ,  5F057DA03 ,  5F057EB03 ,  5F057EB30