特許
J-GLOBAL ID：201303005498550509
表面形状測定方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
重信 和男
, 清水 英雄
, 高木 祐一
, 溝渕 良一
, 小椋 正幸
, 秋庭 英樹
, 堅田 多恵子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-045595
公開番号（公開出願番号）：特開2013-181817
出願日： 2012年03月01日
公開日（公表日）： 2013年09月12日
要約：
【課題】接触式変位センサなどを用いた微小対象物の表面形状の計測において、センサ接触部分と測定対象物との間の接触力を調整し、接触力を一定に保持した状態で計測できる方法及び装置を提供する。【解決手段】測定装置11において、スタイラス20の先端を被測定物22表面に接触させた状態で走査し、このときのスタイラス20の変位を計測することで被測定対象物22の表面形状を取得する。そして、測定中のスタイラス20と被測定物22の間の接触力は釣り合いおもりにより調整され、接触力を著しく減少させた状態を一定に保ったまま被測定対象物22の表面形状を正確に測定・評価する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
超精密加工が施された構造物の接触式形状測定機による表面形状の測定方法であって、被測定対象物の表面に接触させるスタイラスおよび、スタイラスの接触力を調整するための釣り合いおもりから構成され、スタイラスと釣り合いおもりの質量はほぼ同等であり、これらは定滑車を介して連結され、被測定対象物に加わるスタイラスの重力荷重による接触力は釣り合いおもりの質量をスタイラス部分と同等もしくはわずかに小さく調節することで減少可能なことを特徴とする表面形状測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (12件)：
2F062AA01
, 2F062AA51
, 2F062CC04
, 2F062CC09
, 2F062EE01
, 2F062EE09
, 2F062EE62
, 2F062GG42
, 2F062GG71
, 2F062HH04
, 2F062HH21
, 2F062MM01
