特許

J-GLOBAL ID：201303007512061810

観察装置

発明者： 中村 友二
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 龍華国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-193312
公開番号（公開出願番号）：特開2013-053966
出願日： 2011年09月05日
公開日（公表日）： 2013年03月21日
要約：

【課題】観察装置の反射ミラーの反射面で結露すると、反射ミラーに入射した光が乱反射してしまい、付着物検出の精度が落ちてしまうという問題があった。【解決手段】観察装置は、観察対象の少なくとも一部である透光板における表面領域を照射する照射部と、照射部からの照射光が表面領域で反射した反射光を受光する撮像素子と、照射部から撮像素子まで光を中継する中継光学系に含まれる反射ミラーと、反射ミラーにおける反射面と異なる箇所である他箇所に直接または熱伝導部材を介して結合されている電子部品が搭載された回路基板とを備える。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

観察対象の少なくとも一部である透光板における表面領域を照射する照射部と、 前記照射部からの照射光が前記表面領域で反射した反射光を受光する撮像素子と、 前記照射部から前記撮像素子まで光を中継する中継光学系に含まれる反射ミラーと、 前記反射ミラーにおける反射面と異なる箇所である他箇所に直接または熱伝導部材を介して結合されている電子部品が搭載された回路基板と を備える観察装置。

IPC (1件)：

G01N 21/17

FI (1件)：

G01N21/17 E

Fターム (15件)：

2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059CC11 ,  2G059EE02 ,  2G059EE04 ,  2G059FF01 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ12 ,  2G059JJ13 ,  2G059KK04 ,  2G059LL04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM09 ,  2G059NN02