特許

J-GLOBAL ID：201303007926543477

有機EL発光装置の製造方法及び製造装置

発明者： 小金井 昭雄
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 渡辺 敬介 ,  山口 芳広
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-256340
公開番号（公開出願番号）：特開2013-110072
出願日： 2011年11月24日
公開日（公表日）： 2013年06月06日
要約：

【課題】高い解像度を有する有機EL発光装置が得られ、かつ生産性が高い有機EL発光装置の製造装置を提供する。【解決手段】複数のマスク部材10と、複数のマスク部材10を固定するフレーム20と、からなるマスクユニット2と、マスク部材10と基板40との相対位置を決めるアライメント機構と、蒸着源30と、を備え、マスク部材10が、複数組の開孔パターン12が並列して設けられてなる開孔部11と、マスク部材10上であってマスク部材10とフレーム20とが接合している領域に設けられるアライメントマーク14,15と、を有し、マスク部材10と、マスク部材10と同一の形状の基板40と、が、前記アライメント機構を用いて、マスク部材10に設けられるアライメントマーク14、15と基板40に設けられるアライメントマーク42、43とを合わせることによってアライメントが行われる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数のマスク部材と、前記複数のマスク部材を固定するフレームと、からなるマスクユニットと、 前記マスク部材と基板との相対位置を決めるアライメント機構と、 蒸着源と、を備え、 前記マスク部材が、複数組の開孔パターンが並列して設けられてなる開孔部と、前記マスク部材上に設けられるアライメントマークと、を有し、 前記複数のマスク部材と、前記マスク部材と同一の形状の複数の基板と、が、前記アライメント機構を用いて、前記マスク部材に設けられるアライメントマークと前記基板に設けられるアライメントマークとを合わせることによってアライメントが行われることを特徴とする、有機EL発光装置の製造装置。

IPC (3件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/04 ,  H01L 51/50

FI (3件)：

H05B33/10 ,  C23C14/04 A ,  H05B33/14 A

Fターム (19件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC35 ,  3K107CC42 ,  3K107CC45 ,  3K107GG04 ,  3K107GG33 ,  3K107GG54 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029BB03 ,  4K029BC07 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029DB14 ,  4K029FA01 ,  4K029HA01 ,  4K029HA04