特許
J-GLOBAL ID:201303008243537362
β-アミノ酸含有電解質および金属層の堆積方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
秋元 輝雄
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-518625
公開番号(公開出願番号):特表2013-508538
出願日: 2010年07月06日
公開日(公表日): 2013年03月07日
要約:
【課題】本発明は、基板上に金属層を無電解にて堆積させるための電解質に関する。【解決手段】電解質は、重金属安定剤、シアニド、セレン化合物および-2〜+5の酸化状態における硫黄を含む硫黄化合物を含まず、その代わりにβ-アミノ酸が安定剤として用いられる。特に、発明に係る電解質は、3-アミノプロピオン酸、3-アミノブタン酸、3-アミノ-4-メチル吉草酸、並びに2-アミノエタンスルホン酸を含み得る。さらに、本発明は金属層の無電解堆積の方法に関係し、本発明に係る電解質を利用し、一般的に金属層の無電解堆積のための電解質における安定剤としてβ-アミノ酸類の使用も関係する。【選択図】なし
請求項(抜粋):
堆積される金属のための金属イオン源、還元剤、錯化剤、促進剤、並びに安定剤を含む基板上に金属層を無電解で堆積するための電解質であって、当該電解質は安定剤としてβ-アミノ酸を含むことを特徴とする。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (18件):
4K022AA02
, 4K022AA13
, 4K022AA32
, 4K022AA42
, 4K022BA03
, 4K022BA04
, 4K022BA06
, 4K022BA08
, 4K022BA14
, 4K022BA31
, 4K022BA32
, 4K022DA01
, 4K022DB02
, 4K022DB03
, 4K022DB04
, 4K022DB06
, 4K022DB07
, 4K022DB28
引用特許:
前のページに戻る