特許
J-GLOBAL ID：201303008368275599

基板処理装置及びその表示方法並びに半導体装置の製造方法

発明者：
末吉 雅子

末吉 雅子 について

, 
斉藤 一人

斉藤 一人 について


出願人/特許権者：
株式会社日立国際電気

株式会社日立国際電気 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-116103
公開番号（公開出願番号）：特開2013-211584
出願日： 2013年05月31日
公開日（公表日）： 2013年10月10日
要約：
【課題】日常点検が必要なデータを監視する。【解決手段】基板処理に関するデータを表示する操作画面と、列番号をデータ番号、データ名称を項目データとして設定可能な日常点検データモニタ画面データを格納する画面ファイルと、項目データに対応するパラメータデータとして各部品に付帯するユーティリティ設備を点検するための日常点検データを格納する日常点検イニシャルパラメータファイルと、を備えた操作部を含む基板処理装置。操作部は、画面ファイルを展開して操作画面に日常点検データモニタ画面データを日常点検データモニタ画面として配置し、日常点検イニシャルパラメータファイルを展開してデータ番号により日常点検イニシャルパラメータファイル内を検索して項目データに対応するパラメータデータを配置して日常点検データモニタ画面を表示し、操作画面に前記基板処理に関するデータだけでなく日常点検データを表示する基板処理装置。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板処理に関するデータを少なくとも表示する操作画面と、列番号をデータ番号、データ名称を少なくとも項目データとして設定可能な日常点検データモニタ画面データを格納する画面ファイルと、少なくとも前記項目データに対応するパラメータデータとして各部品に付帯するユーティリティ設備を点検するための日常点検データを格納する日常点検イニシャルパラメータファイルと、を備えた操作部を含む基板処理装置であって、 前記操作部は、前記画面ファイルを展開して前記操作画面に前記日常点検データモニタ画面データを日常点検データモニタ画面として配置し、前記日常点検イニシャルパラメータファイルを展開して前記データ番号により前記日常点検イニシャルパラメータファイル内を検索して前記項目データに対応するパラメータデータを配置して前記日常点検データモニタ画面を表示し、前記操作画面に前記基板処理に関するデータだけでなく前記日常点検データを表示するように構成されている基板処理装置。
IPC (1件)：
H01L 21/02
FI (1件)：
H01L21/02 Z
引用特許：
審査官引用 (4件)
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