特許
J-GLOBAL ID：201303008552762958
間隙測定装置、表面形状測定装置、間隙測定方法および表面形状測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
須田 篤
, 楠 修二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-143176
公開番号（公開出願番号）：特開2013-011471
出願日： 2011年06月28日
公開日（公表日）： 2013年01月17日
要約：
【課題】探針と試料とが衝突するのを防ぐことができ、比較的高速での走査が可能で、分解能が高く、正確な表面形状を得ることができる間隙測定装置、表面形状測定装置、間隙測定方法および表面形状測定方法を提供する。【解決手段】探針12が、試料1の表面にほぼ垂直な方向に沿って振動するよう、試料1の表面との間に隙間をあけて配置されている。電圧印加手段14が、試料1と探針12との間に直流バイアス電圧を印加可能である。制御手段15が、走査手段11により探針12を走査しつつ、振動する探針12が検出した電圧印加手段14による電界信号に基づいて、試料1の表面と探針12との距離を求めるとともに、探針12が検出する電界信号の平均値が一定になるよう、走査手段11により探針12を垂直方向に移動させる。制御手段15は、求められた試料1の表面と探針12との距離と、探針12の軌跡とから試料1の表面形状を求める。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
試料の表面にほぼ垂直な方向に沿って振動するよう、前記試料の表面との間に隙間をあけて配置され、前記試料との間に発生する電界信号を検出可能な探針と、
前記試料と前記探針との間に直流バイアス電圧を印加可能に設けられた電圧印加手段と、
前記電圧印加手段により直流バイアス電圧を印加したとき、振動する前記探針が検出した電界信号に基づいて、前記試料の表面と前記探針との距離を求める制御手段とを、
有することを特徴とする間隔測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01Q60/30
, G01B7/00 101Z
2F063AA02
, 2F063AA22
, 2F063AA43
, 2F063DA01
, 2F063DA05
, 2F063DB05
, 2F063DD02
, 2F063EA20
