薄膜製造装置、電気-機械変換素子、液体吐出ヘッド、画像形成装置および薄膜製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：工藤修一 , 樺山亨 , 本多章悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-060803
公開番号（公開出願番号）：特開2013-225671
出願日： 2013年03月22日
公開日（公表日）： 2013年10月31日
要約：

【課題】同じ工程を複数(多数)回繰返すことで電気-機械変換膜を含む機能性膜を得る薄膜製造装置において、効率的に目標膜厚の薄膜製造を行える薄膜製造装置を提供する。【解決手段】基板1上の複数箇所毎に機能性インクを複数回吐出し、複数箇所に塗膜パターンを形成する液体吐出手段としてのインクジェットヘッド67と、複数箇所の塗膜パターンを、機能性インクの複数回吐出毎に加熱し結晶化して複数箇所に薄膜パターンを得る加熱結晶化手段としてのレーザ照射装置71と、複数回の加熱結晶化後における全箇所の薄膜パターンの膜厚を測定する膜厚測定手段73と、膜厚測定手段73による全箇所の薄膜パターンの膜厚測定結果に基づいて、目標膜厚の膜厚となるように、インクジェットヘッド67からの基板1上の各箇所への機能性インクの吐出量を補正する補正手段としての制御部75とを有する薄膜製造装置50である。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

成膜対象物上の複数箇所毎に機能性インクを複数回吐出し、前記複数箇所に塗膜パターンを形成する液体吐出手段と、前記複数箇所の塗膜パターンを、前記機能性インクの複数回吐出毎に加熱し結晶化して前記複数箇所に薄膜パターンを得る加熱結晶化手段と、を有することを特徴とする薄膜製造装置。

IPC (6件)：

H01L 41/318 , B05C 5/00 , B05C 11/00 , B05C 11/10 , B41J 2/01 , H01L 41/09

FI (6件)：

H01L41/318 , B05C5/00 101 , B05C11/00 , B05C11/10 , B41J3/04 101Z , H01L41/09

Fターム (14件)：

2C056EC73 , 2C056ED01 , 2C056ED03 , 2C056FA10 , 2C056HA44 , 4F041AA02 , 4F041AB01 , 4F041BA10 , 4F041BA34 , 4F041BA56 , 4F042AA02 , 4F042BA25 , 4F042CB07 , 4F042DH09

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