特許
J-GLOBAL ID：201303009443375517
マーク検出方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大坪 隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-225521
公開番号（公開出願番号）：特開2013-088836
出願日： 2011年10月13日
公開日（公表日）： 2013年05月13日
要約：
【課題】 検出対象であるマークのエッジを正確に検出することが可能なマーク検出方法を提供する。【解決手段】 Y方向に延びる直線状のマークを含む二次元画像を、X方向に微分した後、Y方向に射影加算する工程と、射影加算時におけるY方向に存在するエッジの数をX方向の領域毎に検出するエッジ数検出工程と、エッジ数検出工程で検出したX方向の領域毎のエッジの数が設定値以下のときに射影加算後のX方向の領域毎の加算値を減少させる加算値補正工程と、加算値補正工程により補正した射影加算後のX方向の領域毎の加算値に基づいて直線状のマークのエッジを検出するエッジ検出工程とを備える。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
マークを含む二次元画像を、X方向に微分した後、Y方向に射影加算することにより、マークのエッジを検出するマーク検出方法において、
前記射影加算時における前記Y方向に存在するエッジの数を、X方向の領域毎に検出するエッジ数検出工程と、
前記射影加算後のX方向の領域毎の加算値を、前記エッジ数検出工程で検出したX方向の領域毎のエッジの数により補正する加算値補正工程と、
前記加算値補正工程により補正した前記射影加算後のX方向の領域毎の加算値に基づいて前記マークのエッジを検出するエッジ検出工程と、
を備えたことを特徴とするマーク検出方法。
IPC (3件)：
G06T 7/60
, G06T 1/00
, H01L 21/027
G06T7/60 250A
, G06T1/00 305C
, H01L21/30 507A
5B057AA03
, 5B057DA07
, 5B057DA08
, 5B057DB02
, 5B057DB05
, 5B057DB09
, 5B057DC16
, 5B057DC19
, 5F146EA03
, 5F146EB01
, 5F146FA10
, 5F146FC04
, 5L096AA06
, 5L096CA02
, 5L096FA06
, 5L096FA38
, 5L096FA52
, 5L096GA02
