特許
J-GLOBAL ID：201303009630130510
多孔質のケイ素酸化物塗膜
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
鳴井 義夫
, 武井 英夫
, 松井 佳章
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-102446
公開番号（公開出願番号）：特開2001-287909
特許番号：特許第4798823号
出願日： 2000年04月04日
公開日（公表日）： 2001年10月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】(A)少なくとも1種の加水分解性シラン化合物と、
(B)少なくとも1種の有機ポリマー(空隙形成剤)と、
(C)前記(A)に含まれる全ケイ素原子のモル数に対して少なくとも0.01モル%以上の、リン原子を含有する少なくとも1種の化学種とを含有し、
上記有機ポリマーが脂肪族ポリエーテルであり、
前記(A)に含まれる全ケイ素原子のうち少なくとも20モル%以上が、下記式(2)により表される構造である塗膜前駆組成物を基板上に塗布し、60°C〜300°Cで処理して加水分解性シラン化合物の加水分解・脱水縮合反応を行う工程、
引き続き、350°C〜450°Cで加熱焼成処理して脂肪族ポリエーテルの除去を行う工程、を経て得られることを特徴とする多孔質のケイ素酸化物塗膜の製造方法。
R1SiX3 (2)
(但し、式中R1は炭素数1〜8の直鎖状アルキル基を表し、Xは各々独立に炭素数1〜6のアルコキシ基を表す。)
IPC (7件)：
C01B 33/12 ( 200 6.01)
, C09D 1/00 ( 200 6.01)
, C09D 5/25 ( 200 6.01)
, C09D 183/04 ( 200 6.01)
, C09D 201/00 ( 200 6.01)
, H01L 21/768 ( 200 6.01)
, H01L 23/522 ( 200 6.01)
C01B 33/12 A
, C01B 33/12 C
, C09D 1/00
, C09D 5/25
, C09D 183/04
, C09D 201/00
, H01L 21/90 S
, H01L 21/90 Q
