特許

J-GLOBAL ID：201303009994150133

検査装置、及びアライメント装置

発明者： 広瀬 展明 ,  蓬莱 泉雄
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (2件)： 井上 学 ,  戸田 裕二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-119392
公開番号（公開出願番号）：特開2013-224948
出願日： 2013年06月06日
公開日（公表日）： 2013年10月31日
要約：

【課題】表面に膜が形成されたウエハでも安定してアライメントマークと周辺部のコントラストが高い画像データを取得できるようにしたものを提供する。【解決手段】照明光となる光源と前記光源からの光を物体に照射し、また反射光を集光結像する結像光学系と前記結像光学系の集光点に設置し、物体の画像を取り込むカメラと取り込んだ画像を処理する画像処理機能からなるアライメント測定装置を備えた欠陥検査装置において、画像の取り込みを少なくとも2つの異なる波長帯域の反射光において行い、それぞれの反射光に対応した物体の画像情報を適切に演算処理することによってアライメントマークのコントラストを高めるように構成する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

アライメント装置を有し、 前記アライメント装置は、 膜が塗布され、パターン部が形成された物体に光を照射する光源と、 前記物体からの光を結像する結像光学系と、 前記結像光学系により結像された像を取り込む撮像装置と、 前記撮像装置により取り込んだ画像を処理する画像処理部と、を有し、 前記光は第1の波長帯域の光、及び前記第1の波長帯域とは異なる第2の波長帯域の光を含み、 前記撮像装置は第1の波長帯域に対応した第1の画像、及び前記第2の波長帯域に対応した第2の画像を取り込み、 前記第1の画像、及び前記第2の画像は前記パターン部、及び前記パターン部の周辺の周辺部の画像を含み、 前記画像処理部は、前記第1の画像のノイズの標準偏差、及び前記第2の画像のノイズの標準偏差を前記1の画像、及び前記第2の画像のうち一方に加算し、もう一方の画像から前記加算結果を減算することで、第3の画像を得る検査装置。

IPC (6件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G01B 11/00 ,  H01L 21/66 ,  G06T 1/00 ,  G01N 21/956

FI (6件)：

G01N21/88 J ,  G01B11/30 A ,  G01B11/00 H ,  H01L21/66 J ,  G06T1/00 305C ,  G01N21/956 A

Fターム (96件)：

2F065AA03 ,  2F065AA14 ,  2F065AA24 ,  2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065BB28 ,  2F065CC19 ,  2F065DD09 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065FF41 ,  2F065GG04 ,  2F065GG23 ,  2F065HH12 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ17 ,  2F065JJ23 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL46 ,  2F065MM02 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ38 ,  2F065RR05 ,  2F065TT02 ,  2F065UU05 ,  2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051BA01 ,  2G051BA10 ,  2G051BB09 ,  2G051BB11 ,  2G051CA02 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051CC07 ,  2G051DA07 ,  2G051DA08 ,  2G051DA09 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051ED05 ,  2G051GD01 ,  2G051GD06 ,  4M106AA01 ,  4M106BA05 ,  4M106CA39 ,  4M106CA42 ,  4M106CA43 ,  4M106DB08 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ06 ,  4M106DJ07 ,  4M106DJ13 ,  4M106DJ19 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ27 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CE02 ,  5B057CE08 ,  5B057DA03 ,  5B057DA07 ,  5B057DA16 ,  5B057DA17 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC22 ,  5B057DC32

引用特許：

審査官引用 (4件)

• アライメント用照明装置、アライメント用照明方法、および、電気光学装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-278979   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 異物検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-288874   出願人：株式会社日立ハイテクコントロールシステムズ
• 位置ずれ計測の方法と位置決め装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-030335   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 特開平1-250708