特許
J-GLOBAL ID:201303011280297909
熱伝導性ペースト及びその使用
発明者:
,
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出願人/特許権者:
代理人 (5件):
特許業務法人 津国
, 津国 肇
, 柳橋 泰雄
, 伊藤 佐保子
, 小澤 圭子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-043059
公開番号(公開出願番号):特開2013-214733
出願日: 2013年03月05日
公開日(公表日): 2013年10月17日
要約:
【課題】機械的強度及び信頼性が向上した銀膜をもたらす、熱伝導性ペーストを提供することである。【解決手段】銀微粒子及び熱硬化型バインダを含み、銀微粒子が、低温焼結性銀微粒子であるか、25°C以下から昇温速度10°C/分で熱重量分析を行なったときの、25°Cから200°Cまでの重量減少をΔW25°C→200°C、25°Cから500°Cまでの重量減少をΔW25°C→500°Cとした場合、 ΔW25°C→500°C≧1% ΔW25°C→500°C-ΔW25°C→200°C≦0.7%を充足する、平均粒子径1〜500nmの銀微粒子であるか、平均粒子径40〜350nm、結晶子径20〜70nm、かつ結晶子径に対する平均粒子径の比が1〜5である銀微粒子であり、銀微粒子100質量部に対して、熱硬化型バインダが2〜7質量部である、熱伝導性ペースト、及び当該熱伝導性ペーストを、部品の接合に使用した半導体装置である。【選択図】なし
請求項(抜粋):
低温焼結性銀微粒子;及び
熱硬化型バインダを含み、
銀微粒子100質量部に対して、熱硬化型バインダが2〜7質量部である、熱伝導性ペースト。
IPC (10件):
H01L 21/52
, H01B 1/22
, B22F 1/00
, C09K 5/08
, C09J 201/00
, C09J 11/04
, C09J 9/02
, C09J 163/00
, C09J 171/02
, H01L 21/60
FI (10件):
H01L21/52 E
, H01B1/22 A
, B22F1/00 K
, C09K5/00 E
, C09J201/00
, C09J11/04
, C09J9/02
, C09J163/00
, C09J171/02
, H01L21/92 603C
Fターム (42件):
4J040EC041
, 4J040EC061
, 4J040EC091
, 4J040EC111
, 4J040EE001
, 4J040EE011
, 4J040HA066
, 4J040HB07
, 4J040HB22
, 4J040HC01
, 4J040HC20
, 4J040HC21
, 4J040HC23
, 4J040HD21
, 4J040HD39
, 4J040HD41
, 4J040JA02
, 4J040JA05
, 4J040JB02
, 4J040JB07
, 4J040KA03
, 4J040KA13
, 4J040KA16
, 4J040KA23
, 4J040KA32
, 4J040KA42
, 4J040KA43
, 4J040LA03
, 4J040LA06
, 4J040LA08
, 4J040LA09
, 4J040NA19
, 4K018BA01
, 4K018BB05
, 4K018BD04
, 4K018KA33
, 5F047BA33
, 5F047BA34
, 5F047BA53
, 5G301DA03
, 5G301DA57
, 5G301DD01
引用特許:
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