特許
J-GLOBAL ID：201303011627215053
キャリアヘッド用フレキシブル膜
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
辻居 幸一
, 熊倉 禎男
, 大塚 文昭
, 西島 孝喜
, 須田 洋之
, 上杉 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-024750
公開番号（公開出願番号）：特開2013-116555
出願日： 2013年02月12日
公開日（公表日）： 2013年06月13日
要約：
【課題】基板を保持する保持リング及び、保持リングに対して、一様でない摩耗を低減し、リング寿命を延ばす形で負荷を提供するフレキシブル膜によって形成される保持リングアセンブリと、ベースアセンブリと、キャリアリングとを有するキャリアヘッドを提供する。【解決手段】キャリアヘッド100は、基板10を保持する保持リング200と、保持リング200に負荷をかけるフレキシブル膜300と、キャリアリング400とを含む。フレキシブル膜300は、主部と外側環状部とを有し、主部と外側環状部の接合部は、周辺縁部ヒンジと、外側環状部の外壁に沿ったヒンジの上の環状凹部とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板取付け面を提供する下面を持つ主部と、
前記主部の外縁部から延びる外側環状部と、
を備え、
前記主部と前記外側環状部との間の接合点が、周辺縁部ヒンジと、前記外側環状部の外壁に沿った前記ヒンジの上の環状凹部とを備え、前記周辺縁部ヒンジが、適合するように構成された丸みのある内面及び外面を有する、フレキシブル膜。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B37/04 Q
, H01L21/304 622H
3C058AA07
, 3C058DA06
, 3C058DA12
, 5F057AA31
, 5F057BA11
, 5F057CA11
, 5F057DA03
, 5F057EC10
, 5F057FA18
