特許
J-GLOBAL ID：201303012825482152
酸化物焼結体およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
深井 敏和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-041457
公開番号（公開出願番号）：特開2013-177262
出願日： 2012年02月28日
公開日（公表日）： 2013年09月09日
要約：
【課題】低抵抗でかつ優れた導電性を有する酸化亜鉛系透明導電膜を、再現性よく安定して形成し得る酸化物焼結体を提供する。【解決手段】本発明の酸化物焼結体は、実質的に亜鉛と、チタンと、酸素と、ガリウムおよびアルミニウムからなる群より選ばれる少なくとも1種の微量添加元素とからなり、前記亜鉛、前記チタンおよび前記微量添加元素(TE)の合計に対する前記チタンの原子数比[Ti/(Zn+Ti+TE)]が、0.02を超え0.1以下であり、前記亜鉛、前記チタンおよび前記微量添加元素(TE)の合計に対する前記微量添加元素(TE)の原子数比[TE/(Zn+Ti+TE)]が、0.005以上0.06以下であり、前記チタンの由来が、X線回折でTiO(II)単相の結晶構造を有する。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
実質的に亜鉛と、チタンと、酸素と、ガリウムおよびアルミニウムから選ばれる少なくとも1種の微量添加元素とからなる酸化物焼結体であって、
前記亜鉛、前記チタンおよび前記微量添加元素(TE)の合計に対する前記チタンの原子数比[Ti/(Zn+Ti+TE)]が、0.02を超え0.1以下であり、
前記亜鉛、前記チタンおよび前記微量添加元素(TE)の合計に対する前記微量添加元素(TE)の原子数比[TE/(Zn+Ti+TE)]が、0.005以上0.06以下であり、
前記チタンの由来が、X線回折でTiO(II)単相の結晶構造を有し、かつ以下の(I)〜(IV)の少なくとも1つの条件を満足するTiO(II)であることを特徴とする、酸化物焼結体。
(I)示差熱-熱重量同時(TG-DTA)測定による重量変化が、600°Cまでの昇温で5.5%以上20%以下
(II)示差熱-熱重量同時(TG-DTA)測定による重量変化が、800°Cまでの昇温で16.5%以上51%以下
(III)電子線マイクロアナライザ(EPMA)測定による酸素とチタンとのモル比O/Tiが、0.012以上0.5以下
(IV)走査型分析電子顕微鏡(SEM-EDX)測定による酸素とチタンとの原子数比が、0.004以上0.165以下
IPC (3件)：
C04B 35/453
, C23C 14/34
, C23C 14/08
C04B35/00 P
, C23C14/34 A
, C23C14/08 C
4G030AA16
, 4G030AA32
, 4G030AA34
, 4G030AA36
, 4G030BA02
, 4G030BA15
, 4G030GA24
, 4G030GA26
, 4G030GA27
, 4G030GA29
, 4K029AA09
, 4K029BA49
, 4K029BB07
, 4K029BC09
, 4K029CA03
, 4K029CA05
, 4K029DB05
, 4K029DC05
, 4K029DC09
, 4K029DC34
, 4K029DC39
