露光システム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人アイミー国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-524807
公開番号（公開出願番号）：特表2013-543595
出願日： 2011年09月28日
公開日（公表日）： 2013年12月05日
要約：

【課題】本発明は、露光システムに関するものである。【解決手段】本発明の露光システムは、より詳しくは、発光部と、フィルムがその表面に密着され、円、楕円又はその一部の曲率で湾曲された状態で移送されるフィルム移送部と、前記発光部から出射された光を密着された前記フィルムに伝達し、前記フィルムに偏光パターンを形成するパターン形成部とを備えることにより、ロールに巻き取られたフィルムを連続的に繰り出しながら偏光パターンを形成させる場合にもフィルムの振動及び蛇行を最小限にすることができ、より広範囲の領域に対して均一な露光が可能であって、パターンリターダなどの品質改善及び生産効率の増大に寄与することができる露光システムに関するものである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

発光部と、フィルムがその表面に密着され、円、楕円又はその一部の曲率で湾曲された状態で移送されるフィルム移送部と、前記発光部から出射された光を密着された前記フィルムに伝達し、前記フィルムに偏光パターンを形成するパターン形成部とを備える、露光システム。

IPC (3件)：

G03F 7/24 , H01L 21/677 , G02B 5/30

FI (3件)：

G03F7/24 Z , H01L21/68 A , G02B5/30

Fターム (19件)：

2H097AA16 , 2H097AB08 , 2H097BB01 , 2H097DB07 , 2H097DB11 , 2H097LA11 , 2H149AA20 , 2H149AA21 , 2H149BA02 , 2H149BB01 , 2H149FC01 , 2H149FC02 , 5F131AA13 , 5F131BA13 , 5F131CA06 , 5F131DA20 , 5F131DA33 , 5F131DA42 , 5F131DC22

引用特許：

審査官引用 (9件)

光学フィルムの製造方法、光学フィルム、偏光板、転写材料、液晶表示装置、及び偏光紫外線露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-228781 出願人：富士フイルム株式会社
パターン露光方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-259119 出願人：富士フイルム株式会社
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-284639 出願人：富士写真フイルム株式会社

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