特許

J-GLOBAL ID：201303013249557180

ウエハー整列装置及びウエハー整列方法

発明者： 崔 丞 佑 ,  朴 慶 善
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人共生国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-044156
公開番号（公開出願番号）：特開2013-187547
出願日： 2013年03月06日
公開日（公表日）： 2013年09月19日
要約：

【課題】整列正確度を提供し且つより簡素化されたウエハー整列装置及びウエハー整列方法を提供する。【解決手段】本発明のウエハー整列装置は、第1及び第2のウエハーをそれぞれ支持する第1及び第2のウエハーホルダーと、第1及び第2のウエハーが互いに対向して予備整列されるように第1及び第2のウエハーホルダーのうちの少なくとも一つを移動させるホルダー移動部と、ホルダー移動部によって第1及び第2のウエハーが予備整列された状態で、予備整列された第1及び第2のウエハーの水平方向に位置して予備整列された第1及び第2のウエハーのエッジ部分を観察する少なくとも一つの観察部と、観察部で観察された情報を受信して所望の整列状態でない場合に第1及び第2のウエハーが再整列されるようにホルダー移動部を制御する制御部と、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1及び第2のウエハーをそれぞれ支持する第1及び第2のウエハーホルダーと、 前記第1及び第2のウエハーが互いに対向して予備整列されるように前記第1及び第2のウエハーホルダーのうちの少なくとも一つを移動させるホルダー移動部と、 前記ホルダー移動部によって前記第1及び第2のウエハーが予備整列された状態で、予備整列された前記第1及び第2のウエハーの水平方向に位置して前記予備整列された第1及び第2のウエハーのエッジ部分を観察する少なくとも一つの観察部と、 前記観察部で観察された情報を受信して所望の整列状態でない場合に前記第1及び第2のウエハーが再整列されるように前記ホルダー移動部を制御する制御部と、を備えることを特徴とするウエハー整列装置。

IPC (1件)：

H01L 21/68

FI (1件)：

H01L21/68 G

Fターム (10件)：

5F131AA02 ,  5F131CA37 ,  5F131EA22 ,  5F131FA17 ,  5F131FA32 ,  5F131KA14 ,  5F131KA47 ,  5F131KA72 ,  5F131KB05 ,  5F131KB55