特許

J-GLOBAL ID：201303013329727346

分子イオンの生成

発明者： ゴデット、ルドヴィック ,  ラドバノフ、スベトラナ ,  ハテム、クリストファー、アール.
出願人/特許権者： バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 龍華国際特許業務法人
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-506274
公開番号（公開出願番号）：特表2013-525980
出願日： 2011年04月20日
公開日（公表日）： 2013年06月20日
要約：

【解決手段】分子イオンの生成装置、および分子イオンの生成方法を提供する。少なくとも第1種がイオン源内でイオン化される。第1種イオンおよび/または第1種を組み合わせ、分子イオンを形成する。これらの分子イオンを、アークチャンバーまたは拡散チャンバーである第2チャンバーへ輸送し、抽出する。分子イオンの原子量は、第1種または第1種イオンよりも大きくてもよい。また、第2種を第1種とイオン化し、分子イオンを形成してもよい。一例では、第1種と第2種とは、共に分子である。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

分子イオンを生成する方法であり、 第1種をイオン源に導入する段階と、 前記第1種から第1種イオンを形成する段階と、 前記第1種イオンを用い、前記第1種イオンの原子質量より大きな原子質量を持つ分子イオンを形成する段階と、 前記イオン源から第2チャンバーへ前記分子イオンを輸送する段階と、 前記第2チャンバーから前記分子イオンを抽出する段階と を備える方法。

IPC (2件)：

H01J 27/02 ,  H01J 27/16

FI (2件)：

H01J27/02 ,  H01J27/16

Fターム (7件)：

5C030DD01 ,  5C030DD02 ,  5C030DD05 ,  5C030DE07 ,  5C030DE09 ,  5C030DG03 ,  5C030DG09