特許
J-GLOBAL ID：201303013574677249
高周波磁界検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平山 一幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-083424
公開番号（公開出願番号）：特開2013-213707
出願日： 2012年03月31日
公開日（公表日）： 2013年10月17日
要約：
【課題】高周波の磁界検出を、サブミクロンの空間分解能で行うことができる、高周波磁界検出装置を提供する。【解決手段】高周波電磁界検出装置1は、磁気力顕微鏡2と、測定対象物4と磁気力顕微鏡の探針4の双方に、直流磁場を印加する場合と印加しない場合とを切り替え可能な直流磁場印加手段5と、変調波信号と搬送波用高周波信号とを重畳し、振幅変調波6Aを発生する発振器6と、振幅変調波6Aを分割し、かつ、測定対象物4へのインピーダンスと、探針24へのインピーダンスとの整合を行う整合回路9と、を備え、測定対象物4及び探針24に、整合回路で分割された振幅変調波6Aが印加される。測定対象物4が発生する高周波の磁界分布は例えば光てこ法を用いて測定され、サブミクロンの空間分解能で磁界の2次元分布を測定することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
磁気力顕微鏡と、
測定対象物と上記磁気力顕微鏡の探針の双方に、直流磁場を印加する場合と印加しない場合とを切り替え可能な直流磁場印加手段と、
変調波信号と搬送波用高周波信号とを重畳し、振幅変調波を発生する発振器と、
上記振幅変調波を分割し、かつ、上記測定対象物へのインピーダンスと上記探針へのインピーダンスとの整合を行う整合回路と、
を備え、
上記測定対象物及び上記探針に、上記整合回路で分割された上記振幅変調波が印加されることを特徴とする、高周波電磁界検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (15件)：
2G053AA30
, 2G053AB15
, 2G053BA15
, 2G053BB05
, 2G053BB11
, 2G053BC02
, 2G053BC07
, 2G053BC11
, 2G053BC20
, 2G053CA13
, 2G053CA20
, 2G053DA01
, 2G053DB01
, 2G053DB07
, 2G053DB19
