特許
J-GLOBAL ID：201303014511391759

光学材料用永久膜の製造方法、これにより作製した硬化膜、これを用いた有機EL表示装置および液晶表示装置

発明者：
佐竹 亮

佐竹 亮 について

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安藤 豪

安藤 豪 について

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山下 史絵

山下 史絵 について

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中村 秀之

中村 秀之 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (2件)： 飯田 敏三 ,  宮前 尚祐
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-078765
公開番号（公開出願番号）：特開2013-243121
出願日： 2013年04月04日
公開日（公表日）： 2013年12月05日
要約：
【課題】ハーフトーンマスクを利用した露光において優れた感光特性を発揮し、有機EL表示装置や液晶表示装置に適した層間絶縁膜(永久膜)を好適に形成することができる光学材料用永久膜の製造方法を提供する。【手段】感光性樹脂組成物を露光して該露光部を除去し、その残部を硬化させて永久膜とする光学材料用永久膜の製造方法であって、前記感光性樹脂組成物が、(A)特定架橋性重合体と、(B)1,2-キノンジアジド化合物と、(C)溶剤とを含有し、該感光性樹脂組成物に、g線、h線、およびi線のうちから選ばれる活性放射線を、位相シフタ部における透過率0.1%以上50%以下のハーフトーン位相差マスクを介して照射し、前記樹脂を露光する光学材料用永久膜の製造方法。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
感光性樹脂組成物を露光して該露光部を除去し、その残部を硬化させて永久膜とする光学材料用永久膜の製造方法であって、 前記感光性樹脂組成物が、(A)特定架橋性重合体と、(B)1,2-キノンジアジド化合物と、(C)溶剤とを含有し、 該特定架橋性重合体(A)が、 (A-1)カルボキシル基を有する構成単位またはフェノール性水酸基を有する構成単位(a)及び架橋基を有する構成単位(b)を含有する共重合体、または (A-2)カルボキシル基を有する構成単位またはフェノール性水酸基を有する構成単位(a)を含む重合体と、架橋基を有する構成単位(b)を有する重合体との組合せであり、 該感光性樹脂組成物に、g線、h線、およびi線のうちから選ばれる活性放射線を、位相シフタ部における透過率0.1%以上50%以下のハーフトーン位相差マスクを介して照射し、前記樹脂を露光する光学材料用永久膜の製造方法。
IPC (4件)：
H05B 33/22 ,  G03F 7/023 ,  G03F 7/039 ,  H01L 51/50
FI (4件)：
H05B33/22 Z ,  G03F7/023 ,  G03F7/039 601 ,  H05B33/14 A
Fターム (45件)：
2H125AC44 ,  2H125AC46 ,  2H125AC49 ,  2H125AC72 ,  2H125AD00 ,  2H125AE13P ,  2H125AE18P ,  2H125AF05P ,  2H125AF52P ,  2H125AF53P ,  2H125AH06 ,  2H125AJ04X ,  2H125AJ48X ,  2H125AM13P ,  2H125AM23P ,  2H125AM25P ,  2H125AM26P ,  2H125AM27P ,  2H125AM32P ,  2H125AM67P ,  2H125AN33P ,  2H125AN39P ,  2H125BA05P ,  2H125BA09P ,  2H125BA22P ,  2H125BA24P ,  2H125BA32P ,  2H125CA08 ,  2H125CA22 ,  2H125CA24 ,  2H125CB05 ,  2H125CB06 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125CC21 ,  2H125CD10P ,  2H125CD31 ,  3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC31 ,  3K107DD90 ,  3K107DD97 ,  3K107FF00 ,  3K107FF06 ,  3K107FF14
引用特許：
審査官引用 (7件)
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